Réalisation d’un système de dépôt de couches minces

Aoun, Yacine (2009) Réalisation d’un système de dépôt de couches minces. Masters thesis, Université Mohamed Khider Biskra.

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Abstract

L’objectif principal de ce travail est l’étude et la réalisation d’un système d’évaporation métallique à partir de la phase de conception jusqu'à le choix des pièces utilisées avec le respect des conditions de fonctionnement. D’autre part, pour tester l’efficacité de notre appareil, une étude de caractérisation par la diffraction des rayons X sur une couche mince d’aluminium a été effectuée et qui a montré le dépôt de couche d’oxyde d’aluminium

Item Type: Thesis (Masters)
Subjects: T Technology > TJ Mechanical engineering and machinery
Divisions: Faculté des Sciences et de la technologie > Département de Génie Mécanique
Depositing User: Admin01 TMLBiskra
Date Deposited: 09 Nov 2014 11:59
Last Modified: 09 Nov 2014 11:59
URI: http://thesis.univ-biskra.dz/id/eprint/723

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