Optimisation des conditions d’élaboration (température de substrat et distance bec-sub strat) des films minces de ZnO par spray .

ثابت, عبد العزيز (2013) Optimisation des conditions d’élaboration (température de substrat et distance bec-sub strat) des films minces de ZnO par spray . Masters thesis, Université Mohamed Khider Biskra.

Preview

Text phy_m2.pdf Download (13MB) | Preview

Abstract

Notre travail a pour objectif d’une part la mise au point d’un système de dépôt de couches minces par spray pneumatique « maison » , et son exploitation pour l’obtention de couches minces de ZnO d’autre part. Dans la première partie de la mémoire , nous avons conçu et réalisé le système de dépôt avec des moyens simples et disponibles . Dans la deuxième partie de notre travail, nous avons élaboré une série d’échantillon avec différents paramètres de dépôt, (température de substrat, distance bec/substrat) afin d’optimiser se dernier et comprendre également le processus de dépôt de couches minces par spray pneumatique. Les résultats de la caractérisation DRX,MEB,UV-Visible et quatre pointes des films montre que la température 400°C et la distance 40cm sont optimaux pour obtenir des films TCO (ZnO) de bonne propriété. D’autre part les films ont une structure wurtzit avec une orientation préférentielle (002), transimittance de 80% et résistivité de 10-2 à 10-1 (Ω.Cm)-1

Actions (login required)

View Item